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Plasma表面處理裝置(電漿機(jī))主要技術(shù)參數(shù) | |||
整機(jī)外形尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn):900mm寬×1000mm深×1800mm高 (依據(jù)客戶(hù)要求定制化) | ||
腔體內(nèi)尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn):450mm寬*450mm深*400mm高 (依據(jù)客戶(hù)要求定制化) | ||
載物層數(shù) | 6層 | ||
plasma發(fā)生系統(tǒng) | 等離子體發(fā)生源 | ||
控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制 | ||
進(jìn)氣系統(tǒng) | 2路進(jìn)氣、1路放空 | ||
Plasma表面處理裝置(電漿機(jī))的主要配置元件 | |||
系統(tǒng)組成 | 組件明細(xì) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔 | 特種專(zhuān)用鋁合金材料 | |
真空計(jì) | ULVAC高精密真空計(jì),高低壓力報(bào)警 | ||
真空泵 | 油泵/幹泵(可選) | ||
真空管路組件 | 全不銹鋼管路+波紋管 | ||
plasma發(fā)生系統(tǒng) | plasma發(fā)生器 | 射頻電源 | |
真空電極組件 | 內(nèi)置平板式電極結(jié)構(gòu) | ||
電控系統(tǒng) | 人機(jī)工控系統(tǒng) | MCGS觸摸屏,7英寸真彩色觸摸式全中文界面 | |
自動(dòng)控制模塊 | 西門(mén)子PLC控制模塊(D/A、A/D轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)安全可輸入輸出) | ||
電控集成 | 采用國(guó)內(nèi)外知名品牌元器件 | ||
進(jìn)氣系統(tǒng) | 氣體計(jì)量系統(tǒng) | 高精度質(zhì)量流量控制器 | |
氣壓控制系統(tǒng) | 全套電磁閥控制 | ||
氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | SMC減壓閥、壓力報(bào)警儀表 | ||
進(jìn)氣管路組件 | Φ6 軟管+不銹鋼鎖套管路 | ||
載物系統(tǒng) | 托盤(pán) | 可根據(jù)客戶(hù)工藝需求,設(shè)計(jì)定制。 | |
其他 | 機(jī)箱 | 高質(zhì)量噴漆 | |
組配件 | 國(guó)內(nèi)外知名品牌元器件 |