微波等離子體發(fā)生器原理
1 微波源 2 環(huán)形器 3 自動阻抗調(diào)節(jié)器 4波導 5 等離子噴管 6 短路活塞
微波等離子體炬的原理是將微波能量通過匹配調(diào)節(jié)器,聚集在等離子噴管處,激發(fā)並維持等離子體
傳統(tǒng)微波等離子發(fā)生器的框圖如上,在實際應(yīng)用中,微波等離子體激勵裝置存在以下應(yīng)用難點
1、系統(tǒng)複雜,裝置體積較大
2、微波激勵等離子放電難度較大,難以實現(xiàn)自激勵點火
3、微波等離子的維持對於阻抗及其敏感,等離子體處理過程中,需要即時調(diào)節(jié)阻抗,來實現(xiàn)對於等離子 體炬的工作維持.
降低系統(tǒng)複雜度,提高微波等離子體的激勵與維持穩(wěn)定性,是微波等離子體應(yīng)用的關(guān)鍵
常壓氮氣微波低溫等離子炬 應(yīng)用, 性能和指標
主要應(yīng)用及其優(yōu)勢
主要應(yīng)用:線上等離子處理,材料表面改性及活化
差異化優(yōu)勢:
超低溫常壓等離子方案
定點飽和測溫最低可達400C(同樣的測試方法市面上標稱700C-900C的常壓中頻等離子實測為
2500C-3000C)
等離子射流溫度低於市場上大多數(shù)的常壓氬氣等離子
優(yōu)越及穩(wěn)定的處理效果
最低使用成本的超低溫常壓等離子方案
長射流,高通過性
真正的電中性、無電損傷的等離子方案
材料適應(yīng)面廣,適合多種材料的常壓等離子表面處理
處理效果維持時間長,接近射頻真空方案
性能與指標– 200W, 氮氣微波等離子炬
等離子體最低溫度: 40 Deg.C
等離子體射流長度:25~35mm
等離子處理範圍: 直徑 10~25mm
工作功率範圍:10~180W (推薦40~120W)
氣體流量: 10~35 slm (推薦20~30slm)
微波炬及射流形態(tài)
微波源機箱外形