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國(guó)興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

國(guó)興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

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產(chǎn)品展示

國(guó)興技術(shù)箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

箱式真空等離子體處理系統(tǒng)GX-V1503

主機(jī)尺寸：2000W x 1700D x 2500H mm（可定制化）

真空腔體尺寸： 1140W x 1560D x 960H mm（可定制化）

電極板配置：16 片垂直電極板，15 個(gè)處理位置

有效區(qū)域：1115W x 630H mm（可定制化）

等離子體電源：定制化

工藝氣體控制：

標(biāo)配：

O2、N2：0~5000sccm；

CF4：0~400sccm；

Ar：0~2000sccm；

可選： 額外一路工藝氣體，流量范圍可定制


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