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相比于直流、中頻、高頻和射頻等離子體,微波等離子體具有更高的電子溫度、更高的等離子體濃度以及活性,在應用中具有低溫和高效的優(yōu)勢,尤其適用于溫敏材料的處理。此外,微波等離子體具有零電位差的優(yōu)點,也適合于靜電敏感材料的處理。
國興常壓微波等離子炬的應用:
國興常壓微波等離子炬主要應用于材料的清洗以及表面活化:
- 焊線(wirebonding)前的預處理
- 粘接預處理
- 覆膜前預處理
- 涂覆/印刷前預處理
- 靜電敏感元件的表面處理
此外,用氮氣做工作氣,等離子體溫度可以接近室溫,非常適合于創(chuàng)口滅菌以及皮膚病治療。