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電暈放電之優(yōu)點(diǎn)：
1. 低溫製程
電暈放電並非提高氣體溫度，而是提供局部的高電場(chǎng)以加速電子，進(jìn)行解離，所以消耗的能約幾乎全部拿來(lái)解離氣體，需要的能源?。环辖?jīng)濟(jì)效益。
2. 使用電源較普遍
電暈放電是以電極形狀造成局部高電壓，而且 DC 或 AC電源皆可使用，一般採(cǎi) AC 電源以避免電漿的不穩(wěn)定情形發(fā)生，並避免電極溫度太高，而供給的電壓不必如 DBD 那麼
高，對(duì)於操作人員較為安全。
3. 設(shè)備簡(jiǎn)單
基本的設(shè)備如圖九所示，為針狀或線狀對(duì)平板狀電極，然後通以側(cè)向氣體。
電暈放電之缺點(diǎn)：
1. 處理效果弱
由電暈放電性質(zhì)知道，電漿分佈會(huì)集中在電場(chǎng)最大點(diǎn)的附近，不像低壓電漿是均勻分佈整個(gè)電極，而 DBD 雖然也會(huì)造成放電集中，但至少是整個(gè)電極均勻分佈微小放電。採(cǎi)線狀電極雖然有使處理量擴(kuò)大，但其改善效果有限。
2. 易造成電極破壞
由於電漿的集中，亦造成針狀或線狀電極需承受高溫，故多採(cǎi)耐火材料如鎢(W)，但鎢高溫易與碳結(jié)合而脆化(碳 化)，在常壓下壽命不長(zhǎng)；另一平面電極亦易於受局部集中電場(chǎng)而造成破壞(如放電加工原理)。
